现有的接触式测量方法具有测量速度慢、易划伤测量表面的缺点,而单一的光学非接触测量方法难以完成对大面形或曲率较大的高反射曲面零件三维形貌的高精度测量,只有非接触式轮廓测量仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。光学
3d轮廓仪实现了超精密加工高反射曲面三维形貌的高精度非接触测量,在一些纳米级和亚纳米级的超精密加工领域,除了光学3D表面轮廓仪,其他仪器都没有办法达到其测量精度要求。
光学
3d轮廓仪也叫白光干涉仪,基于白光干涉原理,以3D非接触方式测量分析样品表面形貌的关键参数和尺寸,典型结果包括:
1、表面形貌(粗糙度、平面度、平行度、台阶高度、锥角等等)
2、几何特征(关键孔径尺寸、曲率半径、特征区域的面积和体积,特征图形的位置和数量等等)
中图仪器SuperViewW系列光学3D表面轮廓仪设计简洁、用途多样。其白光干涉技术为原理,结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量。
产品参数
产品型号:SuperView W1系列
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
光学ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可选)
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY平台:尺寸320×200mm,行程140×110mm,电动、手动同时具备,均为光栅闭环反馈
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-100%
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
产品型号:SuperView W1-Pro
产品名称:光学3D表面轮廓仪
影像系统:1024×1024
干涉物镜:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可选)
XY位移平台:尺寸300×300mm,行程200×200mm,电动
Z轴行程:100mm,电动
Z向扫描范围:10mm
Z向分辨率:0.1nm
可测样品反射率:0.05%-100%
水平调整:±5°手动
粗糙度RMS重复性:0.005nm
台阶高测量:准确度0.3%,重复性0.08% 1σ
主要特点:非接触式无损检测,一键分析、快速高效
生产企业:深圳市中图仪器股份有限公司
性能特征
1、高精度、高重复性
3D重建算法、精密Z向扫描模块和光学干涉技术组成的测量系统,以及能有效隔离2Hz以上频率的隔振系统,保证了测量精度和测量重复性。
2、一体化操作的测量分析软件
测量数据自动统计,可视化窗口,结合自定义分析模板的自动化测量功能,实现了快速批量测量的功能,自动完成多区域的测量与分析过程。
3、精密操纵手柄
集成X、Y、Z三个方向位移调整功能的操纵手柄,可快速完成Z向聚焦、载物台平移、找条纹等测量前工作。
4、双重防撞保护措施
(1)软件防撞保护ZSTOP
即在Z轴上设置停止位,设置位置到样品表面的距离小于镜头的工作距离,当镜头运动到该位置时,就立刻停止不再向下运动,起到保护样品和镜头的作用。
(2)Z轴硬件防撞传感器
在镜头的上方安装有机械防撞传感器,当镜头向下位移与样品表面直接接触时,触发感应器,镜头与样品表面变为软接触,并触发紧急停止开关,不再响应向下位移的指令,避免镜头和样品的损伤,双重防护,守护设备和产品,也守护每一分价值和信任。
SuperViewW系列光学3d轮廓仪为工件的微观三维形貌和表面特征分析提供可靠依据,降低了劳动强度,提髙了生产效率。同时多种功能使得测量更方便准确。一键式测量及分析,并自动生成测试报告后,不但节约了大量资金,易于维护,方便工人操作;又提高了产品的质量,提升效率,是现代化常用的检测设备。